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極大規(guī)模集成電路含氟電子氣體實現(xiàn)國產(chǎn)化 年產(chǎn)量可達2000噸(股)

  8月14日,國務院國資委官網(wǎng)發(fā)布消息,由中國化工黎明化工研究設計院承擔的國家科技重大專項項目“高純四氟化碳和六氟化硫研發(fā)與中試”通過國家重大專項項目組測試與評審,標志著我國極大規(guī)模集成電路行業(yè)所需高純度含氟電子氣體實現(xiàn)國產(chǎn)化。目前,黎明院高純四氟化碳和六氟化硫的年產(chǎn)能可達2000噸,可完全實現(xiàn)對進口產(chǎn)品的替代。

  集成電路是信息社會的根基。高純度含氟電子氣體是極大規(guī)模集成電路行業(yè)必需的清洗和蝕刻氣體,在芯片制作過程中保障極大規(guī)模集成電路的生成,確保電路有效發(fā)揮作用。隨著極大規(guī)模集成電路技術(shù)的提升,芯片制程向14納米甚至7納米邁進,對電子氣體的純度要求越來越高。

  相關(guān)上市公司:

  南大光電(行情300346,診股):通過控股山東飛源氣體有限公司切入氟系電子特氣市場,后者含氟電子氣體已向國際領先企業(yè)批量供貨,并已完成多種關(guān)鍵含氟電子材料的產(chǎn)業(yè)化準備;

  華特氣體(行情688268,診股):旗下有含氟電子氣體產(chǎn)品。

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